환경 안전 설비
고정형 긴급 배기 장치 ( CVS-DØØ )
Line 내부에서 발생하는 단발적인 긴급 상황에 대비하기 위하여 해당
Room의 정화와 2차 오염 확산 방지 및 안전 확보를 확보하고자 제작된 긴급 Gas 제거 장치 입니다.
적용 분야
반도체
디스플레이
제조 공정
Clean room
산업 환경
제품 Line up
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CVD-D100 | |
일반형 | 방폭형 |
| 구분 | 규격 | 비고 |
Model | CVS –D100 |
Material | All SUS + 분체도장 |
Dimension | 2060L×1450W×2760H | 100CMM 기준 (stack 포함) |
처리 풍량 | 40CMM, 75CMM, 100CMM, 150CMM, 200CMM |
Target Gas | Alkaline / Acid / 유기 |
Motor &Control box | 일반 / 방폭 선택 가능 | 고객 주문사항 |
▶ 특징 및 장점
- 환기용 추가 Duct 작업 필요
- 고 성능의 유해가스 제거 능력
- 공가에 따라 Size 변경 가능 / 풍량 극대화
- Acis / Alkaline 동시 제거 가능(복합 Type)
- 유기 성분 대응 가능 (방폭형)
- 방폭 사양 선택 가능 및 수명 확인 기능 추가