TVOC 분석기
측정방법 | Photo Ionization Detector (PID) |
측정범위 | 0~2ppm, 0~20ppm,0~200ppm (주문 선택 가능) |
최소 한계 검출 | < 50 ppb |
정확도 | ± 1% of Reading |
특징 및 장점
매우 낮은 검출 한계
0~20,000 ppb
빠른 반응 속도
실시간 데이터 수집
>= 1msec/amu
최대 40종 실시간 분석
최대 40종 실시간 분석
자체 영점 조정
수동 영점 조절 불필요
납품 실적
대형 디스플레이 업계 납품
적용분야
반도체
디스플레이
제조 공정
Clean room
산업 환경
제품 Line up
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NEO-TV1000 |
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| NEO-TV2000 |
| Upgrade |
▶ 특징 및 장점
• piD 원리를 이용한 TVOC 분석
▶ 분석 원리
• 이온화
- Sample Gas를 UV Lamp 자외선(10.6eV)으로 이온화
• 검출
- Lamp의 eV보다 낮은 이온화 전위(IP)를 가진 VOC’s를
전극으로 집전 시켜 VOC 농도에 비례한 검출 전류 측정
