Filtration System
AMC Filtration Chemical Filter
(Cleanroom, Equipment, Tunnel etc.)
▶ LPS Filter 2종(상/하)
• Lithoguard Protection System
• 유해가스 제거효율 99%
– Acids (SCIO2, H, HBr)
– Bases (NH3, NMP, amines)
– Silicon-containing organics
(HMDSO, TMS)
필터 성능 평가
▶ 특징 및 장점
• ASML requirement : Chemical filter 특성을 반영한 99% 제거 능력 중요
• Key single contaminant 와 함께 Multi contaminants에 대한 99% 제거 효율 유지 기간이 상대적으로 우수
- 고객사 cleanroom 실제 환경은 acetone, EEP 등 다양한 유기물이 TMS 등과 동시에 존재 (IPA 제외 추정 60~80 ppb)
- multi contaminants 환경 하에서도 TMS등 주요 물질에 대한 99% 제거 유지 능력의 기술적 차별화